院士重生,一架战鹰惊世界

第174章 光刻成功

我会和大家一起,守在车间里,直到第一批芯片合格出厂。”

众人轰然应诺,立刻行动起来。

王志带着技术专家们直奔光刻机车间,开始调试设备,准备硅片提纯。

谢三元跑去元件五厂,安排射频组件零件的生产。

工人们也纷纷回到岗位,穿戴好防静电服,做好生产准备。

程实没有休息,他先去了硅片提纯车间。

看着工人们按要求启动熔炉,看着硅锭在高温下慢慢融化、提纯,他才放心地走向光刻机车间。

光刻机车间里,王志正带着工程师们调整设备参数。

程实走过去,仔细查看了光源系统和物镜系统,说道:“光源功率再调高 5%,确保深紫外光的强度足够。

物镜的焦距再微调一下,保证成像精度。”

工程师们立刻按要求调整,程实又叮嘱道:“光刻胶涂敷要均匀,厚度控制在 0.5 微米,涂敷后要进行前烘,温度 90c,时间 60 秒。”

王志点点头:“都按你说的来,我们已经做了好几次试验,参数都摸透了。”

程实走到晶圆装载区,看着工人小心翼翼地把提纯后的硅片装到光刻机上,眼神专注。

他知道,每一个步骤都不能马虎,这关系到战鹰 1 号的成败,关系到国家的国防安全。

接下来的几天,程实几乎吃住都在车间里。他每天只睡四个小时,其余时间都在各个生产环节巡查指导。

遇到问题,立刻现场解决;发现偏差,马上调整参数。

硅片提纯车间里,工人们轮流值守,盯着区熔炉的温度和纯度检测数据,确保每一片硅片都达到 9 个 9 的纯度。

有一次,纯度检测发现有一个批次的硅片纯度差了 0.00000001%,程实毫不犹豫地让人把整批次硅片都销毁了。

“同志们,” 程实站在车间里,对着工人们说,“我们生产的不是普通芯片,是国家的国防利器。

差一丝一毫都不行,宁可销毁,也不能让不合格的产品流下去。”

工人们都被程实的严格要求打动了,做事更加认真仔细。

光刻机车间里,程实亲自操作光刻机,进行第一片晶圆的光刻。

他盯着屏幕上的电路图案,手指精准地控制着设备的每一个动作。

当第一片晶圆光刻完成,经过检测,电路图案的精度完全符合要求时,车间里爆发出一阵压抑的欢呼。

“成功了!光刻成功了!” 工程师们激动地互相拥抱。

程实脸上露出一丝疲惫但欣慰的笑容,说道:“好样的!接下来就是蚀刻和镀膜,大家继续加油,不能松懈。”

蚀刻车间里,等离子体蚀刻机正在高速运转。

程实站在旁边,看着蚀刻后的晶圆,通过电子显微镜仔细观察蚀刻的深度和均匀性。“深度刚好,均匀性也达标。”

他满意地点点头,“可以进行下一步镀膜了。”

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