温知秋和张克艰同时冲向三号刻蚀机区域。设备监控屏上,真空度的数值正在断崖式下跌——从正常的10^-5帕斯卡,跌到10^-3,10^-2……
“密封圈破裂!”操作员脸色煞白,“温总,必须立刻停机,否则整个腔体都会污染!”
“停!”温知秋下令。
但已经晚了。刻蚀机的舱门打开时,一股刺鼻的化学气味涌出。温知秋看到腔体内壁上,原本银白色的金属表面已经变成了焦黑色——那是硅片和反应气体在异常条件下生成的聚合物,像一层厚厚的油污,糊住了整个腔体。
“完了……”操作员瘫坐在椅子上,“这台设备……废了。”
温知秋感觉自己的心沉到了冰底。三号刻蚀机是生产线上最关键的设备之一,负责芯片的图形转移。没有它,整个生产线都要停摆。而备用设备……根本没有。
她拿出手机,手指颤抖着找到林峰的号码,但在拨出的前一秒,停住了。
凌晨四点。林峰肯定在休息。而且就算告诉他,又能怎样?设备坏了就是坏了,这不是政策能解决的问题,这是硬生生的技术瓶颈。
“温总。”张克艰的声音在旁边响起,“让我看看。”
他走近设备,戴上手套,用手电筒照着腔体内壁,仔细检查那些污染物。几分钟后,他抬起头:“不是完全没救。”
温知秋猛地看向他。
“这种聚合物,主要成分是碳化硅和氟化物。”张克艰说,“七〇三所处理过类似的情况。我们有专用的清洗剂,可以溶解这种污染物,但……需要特殊的清洗设备,而且过程很危险,容易损伤腔体内壁的精密涂层。”
“成功率高吗?”
“百分之五十。”张克艰实话实说,“而且就算清洗成功,设备的精度也会下降。可能……再也达不到原来的水平了。”
百分之五十。赌还是不赌?
温知秋看着那台价值三千多万的设备,又看了看车间里其他还在运转的机器。如果这台设备报废,生产线产能会再下降百分之二十,良品率可能跌到百分之三十以下。但如果赌那百分之五十……
“张总工,清洗需要多久?”
“最快八小时。”
“好。”温知秋深吸一口气,“赌了。我让工艺组配合您,需要什么资源,尽管开口。”
张克艰深深看她一眼,然后点头:“我马上联系所里,把清洗剂和装备空运过来。争取上午十点开始清洗。”
凌晨四点二十分,温知秋站在车间中央,看着技术人员在张克艰指挥下开始拆卸设备。她的手机又震动了,这次是林峰发来的信息:“刚开完夜会。看到你们车间的灯还亮着,进展如何?”
温知秋盯着这条信息,手指在屏幕上悬停了很久,最后回复:“遇到困难,但正在解决。张总工和许教授都在。您先休息。”
她没提设备损坏的事。没必要。有些困难,必须自己扛过去。
清晨六点,天空泛起鱼肚白。清洗剂和专用设备从机场直接运到了工厂。张克艰亲自上阵,带着两个助手开始清洗作业。那是一种刺鼻的化学液体,需要用高压喷枪精准地喷射到污染表面,多一分会损伤涂层,少一分洗不干净。
温知秋站在安全线外看着。张克艰穿着厚重的防护服,动作却精准得像手术医生。高压喷枪在他手中稳定地移动,化学液体在腔体内壁上冲刷,黑色的污染物一点点剥落。
七点,许薇发来新的架构草图。温知秋在休息区打开平板电脑,看着那份全新的设计——“凤凰-mini”架构,专为ai推理芯片优化,面积比原设计缩小百分之三十五,功耗降低百分之四十五,理论性能却提升了百分之二十。
“这个架构,可以在28纳米下实现。”许薇在电话里说,“但需要工艺支持三维堆叠。张总工那边……”
“正在解决。”温知秋说,“你们继续优化,我这边同步适配。”
上午九点,清洗作业进入最后阶段。张克艰从设备里退出来,脱下防护服,满头大汗:“温总,初步清洗完成。但需要做精度检测,才知道有没有损伤。”
检测设备就位。激光干涉仪的光束在腔体内扫描,生成三维精度图。所有人都屏住呼吸,看着屏幕上那些代表误差的彩色等高线。
“x轴误差,正负零点一五微米。”技术员报数。
“y轴误差,正负零点一三微米。”
“z轴误差,正负零点零五微米。”
张克艰的脸色缓和下来:“比原设计精度下降了百分之二十,但……还能用。调整工艺参数,应该可以补偿这部分误差。”
车间里响起压抑的欢呼声。温知秋感觉腿一软,赶紧扶住旁边的操作台。赌赢了。百分之五十的概率,他们赌赢了。
上午十点半,林峰出现在车间门口。他穿着便装,手里提着几个早餐袋。
“听说你们通宵了。”他把早餐分给技术人员,“都吃点东西,休息一下再干。”
温知秋接过一个包子,咬了一口,才发现自己饿得手都在抖。林峰走到她身边,低声问:“刚才杨学民跟我说,设备出问题了?”
“解决了。”温知秋说,“张总工救回来了。”
林峰看着她通红的眼睛和苍白的脸,没再多问,只是说:“下午两点,国家大基金管委会的同志要来看进展。你们准备一下,把最真实的情况展现给他们。”
“最真实的情况……”温知秋苦笑,“就是一台台带病运转的设备,一群连续工作五十小时的人,和一个还不知道能不能成功的架构。”
“那就展示这些。”林峰说,“真实,比完美更有力量。”
中午十二点,温知秋终于躺在了办公室的沙发上。她计划睡一个小时,但闭上眼睛不到三分钟,就沉沉睡去。
梦里,她看到芯片在流水线上流动,像一条发光的河。那些芯片上刻着的不是晶体管,而是一个个小小的凤凰图腾,在火光中重生。
下午一点五十,她被闹钟叫醒。洗了把脸,重新扎好头发,换上干净的无尘服。
车间里,张克艰正在调试那台刚刚“重生”的刻蚀机,许薇的架构设计图已经传到了生产控制电脑上,技术人员各就各位。
温知秋走到车间中央的控制台前,看着屏幕上跳动的数据流。设备状态:百分之八十五在线;良品率:百分之三十九;新型架构适配进度:百分之六十。
还不够好,但……已经在向前走了。
她深吸一口气,按下通讯键:“各小组注意,下午的生产试运行,现在开始。我们的目标不是完美,而是证明——证明这条路,走得通。”
机器嗡鸣声响起,生产线再次启动。
而这一次,温知秋相信,光真的从裂缝中照进来了。
本章完